Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/991835808 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Untersuchung der UV-Nanoimprint-Lithografie als Strukturierungsverfahren für elektronische Bauelemente / vorgelegt von Holger Schmitt |
| Person(en) | Schmitt, Holger (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 3,5 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schmitt, Holger: Untersuchung der UV-Nanoimprint-Lithografie als Strukturierungsverfahren für elektronische Bauelemente |
| Hochschulschrift | Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2008 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus-11986 |
| URL |
http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2008/1198/pdf/HolgerSchmittDissertation.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2008/1198/ (Verlag) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Ultraviolettlack ; Nanoprägen ; Transistor ; Nanolithographie |
| DDC-Notation | 621.381531 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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