Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/968489354 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen / Alexander Leopold |
| Person(en) | Leopold, Alexander (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2002 |
| Umfang/Format | [6], 132 Bl. : graph. Darst. ; 30 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Leopold, Alexander: Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen |
| Hochschulschrift | München, Techn. Univ., Diss., 2002 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Silicium ; Wafer ; Oberflächenreinigung ; Wasserstoffperoxid ; Komplexbildner ; Einstufenprozess |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik ; 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: H 2003 B 5952 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: H 2003 B 5952 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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