Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1239418809 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Modellierung und Simulation der Elektronendynamik in magnetisierten technischen Hochleistungsplasmen / Dennis Krüger ; Gutachter: Ralf Peter Brinkmann, Thomas Mussenbrock ; Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Person(en) |
Krüger, Dennis (Verfasser) Brinkmann, Ralf Peter (Gutachter) Mussenbrock, Thomas (Gutachter) |
| Organisation(en) | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (Sonstige) |
| Verlag | Bochum : Ruhr-Universität Bochum |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2021 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Hochschulschrift | Dissertation, Bochum, Ruhr-Universität Bochum, 2020 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:294-82371 |
| URL | https://hss-opus.ub.ruhr-uni-bochum.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/8237 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter |
Plasma ; Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern ; Magnetron ; Magnetronsputtern ; Plasmarandschicht Mikrowellenplasma* ; Prozessmodell* ; Magnetronsputtern* ; Prozesssimulation* ; Ferromagnetikum* ; Computersimulation* ; Gasentladung* ; Dünne Schicht* ; Magnetfeld* ; Simulation* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 530.44 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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