Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/125091521X |
| Titel | UV-LED projection photolithography for high-resolution functional photonic components / Lei Zheng, Urs Zywietz, Tobias Birr, Martin Duderstadt, Ludger Overmeyer, Bernhard Roth, Carsten Reinhardt |
| Person(en) |
Zheng, Lei (Verfasser) Zywietz, Urs (Verfasser) Birr, Tobias (Verfasser) Duderstadt, Martin (Verfasser) Overmeyer, Ludger (Verfasser) Roth, Bernhard (Verfasser) Reinhardt, Carsten (Verfasser) |
| Verlag | Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover - Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2021 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2022020301125614345417 DOI: 10.15488/11747 |
| URL | https://www.repo.uni-hannover.de/handle/123456789/11840 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen | In: Zheng, L.; Zywietz, U.; Birr, T.; Duderstadt, M.; Overmeyer, L. et al.: UV-LED projection photolithography for high-resolution functional photonic components. In: Microsystems & nanoengineering 7 (2021), 64. DOI: https://doi.org/10.1038/s41378-021-00286-7 |
| DDC-Notation | 535.2 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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