Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1023113341 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Mechanische Charakterisierung von Cu-Metallisierungen mit unterschiedlichen Durchkontaktierungsgeometrien und Rissbildungsprädiktion der Ta-Barriere / von Joharsyah Ciptokusumo |
| Person(en) | Ciptokusumo, Joharsyah (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | VII, 90 Bl. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Ciptokusumo, Joharsyah: Mechanische Charakterisierung von Cu-Metallisierungen mit unterschiedlichen Durchkontaktierungsgeometrien und Rissbildungsprädiktion der Ta-Barriere |
| Hochschulschrift | Hannover, Univ., Diss., 2011 (Nicht für den Austausch) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| DDC-Notation | 621.381044 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Frankfurt |
Signatur: 2013 B 410 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2012 B 17572 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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