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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1236346610
Titel Direct polymer microcantilever fabrication from free-standing dry film photoresists / Madeleine Nilsen, Oliver Dannberg, Thomas Fröhlich, Steffen Strehle
Person(en) Nilsen, Madeleine (Verfasser)
Dannberg, Oliver (Verfasser)
Fröhlich, Thomas (Verfasser)
Strehle, Steffen (Verfasser)
Verlag Ilmenau : TU Ilmenau
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2020
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021070107374363146948
DOI: 10.1088/1361-6439/ab9e4c
URL https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00047883 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Journal of micromechanics and microengineering(30, 2020), H. 9
DDC-Notation 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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