Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1258166046 |
| Titel | Towards green 3D-microfabrication of Bio-MEMS devices using ADEX dry film photoresists / Michael M. Roos, Andreas Winkler, Madeleine Nilsen, Siegfried B. Menzel, Steffen Strehle |
| Person(en) |
Roos, Michael M. (Verfasser) Winkler, Andreas (Verfasser) Nilsen, Madeleine (Verfasser) Menzel, Siegfried B. (Verfasser) Strehle, Steffen (Verfasser) |
| Verlag | Ilmenau : TU Ilmenau |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2021 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 15 Seiten (pdf) |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2022052303071702447639 DOI: 10.1007/s40684-021-00367-y |
| URL | https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00052002 (Verlag) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen |
In: International journal of precision engineering and manufacturing-green technology(9), H. 1, S.43-57 - ISSN 2198-0810 In: Springer, Berlin |
| DDC-Notation | 621.381 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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