Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Treffer 99851 von 783831
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1033877646 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Modellierung von Transportprozessen neutraler und ionisierter Spezies in mikro- und nanostrukturierenden Ätzprozessen / von Maik Hauguth |
| Person(en) | Hauguth, Maik (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | III, V, 208 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Hauguth, Maik: Modellierung von Transportprozessen neutraler und ionisierter Spezies in mikro- und nanostrukturierenden Ätzprozessen |
| Hochschulschrift | Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2012 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2013 B 9736 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2013 B 10951 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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