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Titel Material Deformation and Damage Mechanism Based on In-Situ Plasma-Assisted Nanoscratch Test of Single Crystal Silicon / by Ziheng Wang, Zhenjing Duan, Shuaishuai Wang, Yuheng Li, Jiyu Liu, Jinlong Song, Xin Liu
Person(en) Wang, Ziheng (Verfasser)
Duan, Zhenjing (Verfasser)
Wang, Shuaishuai (Verfasser)
Li, Yuheng (Verfasser)
Liu, Jiyu (Verfasser)
Song, Jinlong (Verfasser)
Liu, Xin (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format 1 Online-Ressource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2507202103022.748708928142
DOI: 10.1186/s10033-025-01238-2
URL https://doi.org/10.1186/s10033-025-01238-2
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2025
DDC-Notation 621.04 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Chinese journal of mechanical engineering (Bd. 38, 19.5.2025, Nr. 1, date:12.2025: 1-19)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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