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Neuigkeiten Der Multimedia-Zeitschriftenlesesaal und der Kartenlesesaal in Leipzig sind vom 30.10. bis 03.11. geschlossen. // The multimedia/periodical reading room and the map reading room in Leipzig are closed from 30.10 to 03.11.
 
Neuigkeiten Leipzig: Freitag, 31. Oktober 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums sind von 10 bis 18 Uhr geöffnet. // Friday, 31 October 2025: The German National Library in Leipzig will be closed. The exhibitions of the German Museum of Books and Writing will open from 10:00 to 18:00.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen. : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle / Ronald Hellriegel
Person(en) Hellriegel, Ronald (Verfasser)
Ausgabe [Online-Ausg.]
Sekundärausgabe Online-Ausg.: [Dresden] : [Sächsische Landesbibliothek], 2009. Online-Ressource
Verlag Norderstedt : Books on Demand GmbH
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format VI, 123 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 206 gr. (PDF)
Hochschulschrift Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2009
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:14-ds-1245418105568-70747
URL http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-ds-1245418105568-70747 (kostenfrei zugänglich)
ISBN/Einband/Preis 978-3-8391-0693-8
978-3-839-10693-8 (falsch)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Aufdampfen ; Titannitrid ; Vakuumkammer ; Ablagerung ; Reinigung ; Plasmaätzen
DDC-Notation 671.735028 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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