Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1161996788 |
| Titel | Micro and Nano Fabrication Technology |
| Person(en) |
Gatzen, Hans-Heinrich (Verfasser) Saile, Volker (Verfasser) Leuthold, Juerg (Verfasser) |
| Ausgabe | 1st edition 2018 |
| Verlag | Singapore : Springer Singapore |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2018 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Gatzen, Hans-Heinrich: Micro and nano fabrication |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2018063004381925043195 DOI: 10.1007/978-981-13-0098-1 |
| URL | https://link.springer.com/book/10.1007/978-981-13-0098-1 (Verlag) |
| ISBN/Einband/Preis | 978-981-13-0098-1 (falsch) |
| EAN | 9789811300981 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Micro/Nano Technologies |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | MEMS ; Nanoelektromechanik ; Mikrosystemtechnik ; Dünnschichttechnik ; Mikrofertigung ; Nanotechnologie |
| DDC-Notation | 621.3815 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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