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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1209877953
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Multiphysikalischer Entwurf hybrid-integrierter MEMS-Oszillatoren auf Silizium-LTCC-Substraten / Johannes Stegner ; Gutachter: Jens Müller, Georg Fischer ; Betreuer: Matthias Hein
Person(en) Stegner, Johannes (Verfasser)
Hein, Matthias (Akademischer Betreuer)
Müller, Jens (Gutachter)
Fischer, Georg (Gutachter)
Verlag Ilmenau : TU Ilmenau
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2020
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Hochschulschrift Dissertation, Ilmenau, TU Ilmenau, 2020
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2020000030
URL https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00042252 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Oszillatorschaltung* ; MEMS* ; Substrat <Mikroelektronik>* ; Resonator* ; LTCC* ; Silicium* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 621.3815 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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