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Physikalisch basierte Mixed-Level-Modellierung von gedämpften elektromechanischen Mikrosystemen Sattler, Robert, 2007
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Titannitrid- und Titan-Schichten für die Nano-Elektromechanik Pritschow, Marcus, 2007
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Beiträge zur Entwicklung einer Technologieplattform für die Herstellung von oberflächennahen Mikrostrukturen mit hohen Aspektverhältnissen Lohmann, Christian, 2006
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Beitrag zur Inbetriebnahme von Antrieben mechatronischer Produktionsmaschinen als internetbasierte Dienstleistung Gäbel, Kai Michael, 2006
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Entwicklung einer intelligenten Struktur Mengelkamp, Gregor, 2006
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Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis Mappes, Timo. - Karlsruhe : FZKA, 2006
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Kaskadierte Aktoren als biomimetische Antriebselemente Gramsch, Torsten. - [Ilmenau] : [Bibliothek der Techn. Univ.], 2006, [Online-Ausg.]
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Methodik zur Produktentwicklung in der Mikrosystemtechnik Watty, Robert. - [Stuttgart] : [Univ.-Bibliothek], 2006, [Online-Ausg.]
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Polymerverkapselung mechatronischer Systeme Schreier-Alt, Thomas, 2006
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Entwurf mechatronischer Systeme auf Basis von Funktionshierarchien und Systemstrukturen Gehrke, Matthias, 2005
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