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	71	Design and fabrication of a micromachining preconcentrator focuser for ethylene gas detection system Alamin Dow, Ali Badar Mohamed, 2009
	72	Ein MEMS-Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip Tenholte, Dirk. - [Chemnitz] : [Univ.-Bibliothek der Techn. Univ.], 2009, [Online-Ausg.]
	73	Elektrische Werkstückantastung für Nanometer-aufgelöste Oberflächen- und Koordinatenmesstechnik Hoffmann, Jörg, 2009
	74	Entwicklung eines Lebensdauersensors Pierburg, Lars. - [Aachen] : [Bibliothek der Techn. Hochsch.], 2009, [Online-Ausg.]
	75	Funktionelle Beschichtungen hergestellt mit CVD- und Sol-Gel-Technik Pflitsch, Christian, 2009
	76	Hochtemperaturstabile Mikroheizer für miniaturisierte Sensorsysteme Spannhake, Jan. - Ilmenau : Univ.-Bibliothek, 2009, [Online-Ausg.]
	77	Selbstreferenzierendes personalisiertes miniaturisiertes Dosimeter (PMD) zur Bestimmung individueller Belastungs-Beanspruchungs-Beziehungen Müller, Alexander. - Ilmenau : Univ.-Bibliothek, 2009, [Online-Ausg.]
	78	Study on a novel thermoelectrical micro-droplet sensor Ni, Jun, 2009, [Online-Ausg.]
	79	Untersuchung der Gassensitivität modifizierter SnO2-Schichten Frank, Kevin, 2009
	80	Untersuchungen an Silizium-Verformungskörpern für die Anwendung in der Präzisions-Kraftmess- und Wägetechnik Mäuselein, Sascha, 2009, [Online-Ausg.]

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