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	1	Charakterisierung von Mikrokugeln auf der Basis von AFM-Oberflächenscans Oertel, Erik. - Ilmenau : TU Ilmenau, 2024
	2	Kombination aus Nanofabrikation und Nanometrologie auf einer planaren Ø100 mm Nanofabrikationsmaschine (NFM-100) Stauffenberg, Jaqueline. - Ilmenau : TU Ilmenau, 2024
	3	3D-micro- and nanometrology Leipzig : Deutsche Nationalbibliothek, 2022
	4	Differentielle Laser-Doppler-Vibrometrie für kleinste Auslenkungen für Frequenzen unterhalb von 10 Hz Schewe, Marvin. - Clausthal-Zellerfeld : Technische Universität Clausthal, 2022
	5	Differentielle Laser-Doppler-Vibrometrie für kleinste Auslenkungen für Frequenzen unterhalb von 10 Hz Schewe, Marvin. - Clausthal-Zellerfeld : Papierflieger Verlag, 2022, 1. Auflage
	6	Großflächige Topographiemessungen mit einem Weißlichtinterferenzmikroskop und einem metrologischen Rasterkraftmikroskop Wu, Yiting. - Erlangen : FAU University Press, 2022
	7	Großflächige Topographiemessungen mit einem Weißlichtinterferenzmikroskop und einem metrologischen Rasterkraftmikroskop Wu, Yiting. - Erlangen : FAU University Press, 2022
	8	Entwicklung und Charakterisierung von nanostrukturierten thermischen MEMS-Flusssensoren Ebschke, Sven. - Dortmund : Universitätsbibliothek Dortmund, 2021
	9	Hochfrequent fokusabstandsmodulierte Konfokalsensoren für die Nanokoordinatenmesstechnik Gröschl, Andreas. - Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2021
	10	Hochfrequent fokusabstandsmodulierte Konfokalsensoren für die Nanokoordinatenmesstechnik Gröschl, Andreas. - Erlangen : FAU University Press, 2021

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