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	61	Entwicklung einer intelligenten Struktur Mengelkamp, Gregor, 2006
	62	Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis Mappes, Timo. - Karlsruhe : FZKA, 2006
	63	Kaskadierte Aktoren als biomimetische Antriebselemente Gramsch, Torsten. - [Ilmenau] : [Bibliothek der Techn. Univ.], 2006, [Online-Ausg.]
	64	Methodik zur Produktentwicklung in der Mikrosystemtechnik Watty, Robert. - [Stuttgart] : [Univ.-Bibliothek], 2006, [Online-Ausg.]
	65	Micro-P-PIM Pulverspritzgießen nachbearbeitungsarmer Mikropräzisionsbauteile aus Keramik und Metall Karlsruhe : FZKA, 2006
	66	Polymerverkapselung mechatronischer Systeme Schreier-Alt, Thomas, 2006
	67	Entwurf mechatronischer Systeme auf Basis von Funktionshierarchien und Systemstrukturen Gehrke, Matthias, 2005
	68	Entwurf von magnetischen Mini- und Mikroaktoren mit stark nichtlinearem Magnetkreis Kallenbach, Matthias, 2005
	69	Herstellung von Mikrosensoren durch Softlithographie unter Verwendung organischer Monoschichten Raiber, Kevin, 2005
	70	Microsystems Bonn : BMBF, Publ. and Website Div., 2005

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