Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Untersuchungen der inneren Grenzflächen des Si-SiC-Systems / vorgelegt von Wilfried Attenberger
Person(en) Attenberger, Wilfried (Verfasser)
Verlag Berlin : Mensch-und-Buch-Verl.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2003
Umfang/Format 143 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 2003
ISBN/Einband/Preis 978-3-89820-535-1 kart. : EUR 23.00
3-89820-535-5 kart. : EUR 23.00
EAN 9783898205351
Beziehungen Forschungsberichte aus den Naturwissenschaften : Physik
Schlagwörter Siliciumcarbid ; Heteroepitaxie ; Silicium ; Halbleitersubstrat ; Grenzfläche ; Durchstrahlungselektronenmikroskopie
Siliciumcarbid ; Vergrabene Schicht ; Ionenimplantation
Sachgruppe(n) 530 Physik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2004 A 21300
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2004 A 23697
Bereitstellung in Leipzig




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