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Art des Inhalts	Hochschulschrift
Titel	Untersuchungen der inneren Grenzflächen des Si-SiC-Systems / vorgelegt von Wilfried Attenberger
Person(en)	Attenberger, Wilfried (Verfasser)
Verlag	Berlin : Mensch-und-Buch-Verl.
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2003
Umfang/Format	143 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift	Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 2003
ISBN/Einband/Preis	978-3-89820-535-1 kart. : EUR 23.00 3-89820-535-5 kart. : EUR 23.00
EAN	9783898205351
Beziehungen	Forschungsberichte aus den Naturwissenschaften : Physik
Schlagwörter	Siliciumcarbid ; Heteroepitaxie ; Silicium ; Halbleitersubstrat ; Grenzfläche ; Durchstrahlungselektronenmikroskopie Siliciumcarbid ; Vergrabene Schicht ; Ionenimplantation
Sachgruppe(n)	530 Physik
Weiterführende Informationen	Inhaltsverzeichnis Inhaltstext

Frankfurt	Signatur: 2004 A 21300 Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig	Signatur: 2004 A 23697 Bereitstellung in Leipzig

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