Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: idn=965549747
Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/gnd/4706129-7 |
Sachbegriff | Nanolithografie |
Quelle | Internet |
Erläuterungen | Definition: Herstellungsverfahren für Oberflächenstrukturen im Nanometerbereich |
Synonyme |
Nanolithographie Nanolithography |
Oberbegriffe |
Lithografie <Halbleitertechnologie> Nanotechnologie |
DDC-Notation |
537.6221 621.38152 620.5 621.381531 |
Systematik | 21.5 Plasma, Gas, Flüssigkeit, Festkörper ; 31.1d Werkstoffkunde, Werkstoffprüfung ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik |
Typ | Allgemeinbegriff (saz) |
Andere Normdaten |
LCSH: Nanolithography RAMEAU: Nanolithographie |
Untergeordnet |
3 Datensätze
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Thema in |
39 Publikationen
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Maschinell verknüpft mit |
3 Publikationen
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