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Titel Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle / Ronald Hellriegel
Person(en) Hellriegel, Ronald (Verfasser)
Verlag Norderstedt : Books on Demand
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Hellriegel, Ronald: Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen
Hochschulschrift Zugl.: Diss., TU Dresden
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-20091213359
URL http://www.bod.de/index.php?id=296&objk_id=221762 (Verlag)
ISBN/Einband/Preis 978-3-8391-0693-8
EAN 9783839106938
Anmerkungen Lizenzpflichtig. - Vom Verlag als Druckwerk on demand angeboten
Schlagwörter Aufdampfen ; Titannitrid ; Vakuumkammer ; Ablagerung ; Reinigung ; Plasmaätzen
DDC-Notation 671.735028 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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